高溫箱式真空氣氛爐怎么使用

更新時(shí)間：2018-04-15

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高溫箱式真空氣氛爐怎么使用1準(zhǔn)備工作
　　a,檢查電源線接觸是否良好
　　b,檢查連接線是否正常
　　c,檢查冷卻水是否正常
　　d,檢查密封性是否正常
　　e,準(zhǔn)備所需工具：無塵紙、*、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
　　2開爐
　　a,打開主電源開關(guān)
　　b,向爐體充氬氣至大氣壓，打開爐體前門，取下石墨蓋板
　　c,將輸送車開關(guān)打至OUT，依次操作UP-FORWARD-UP-BACK-DOWN按鈕，取出。石墨坩堝，依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).
　　d,清爐清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
　　3裝料
　　a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。
　　b、拔出限位桿，輸送車開關(guān)打至IN，依次操作UP-FORWARD-BACK-DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并確定輸送車會(huì)到初始位置。
　　c、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門
　　4抽氣
　　a、檢查爐門是否關(guān)緊，真空系統(tǒng)是否密封
　　b、置DP按鈕于DPON，打開干式真空泵，打開真空計(jì)開關(guān)P1G1，打開干式真空泵。閥門，開始抽氣測(cè)試泄漏率，
　　c、當(dāng)壓力表指示為50Pa是關(guān)閉真空泵閥門（非真空泵）露鋁≤1Pa/min，打開氬氣閥門充氬氣（20L/min）。
　　加熱先打開水環(huán)泵再按RUN，開始工藝加熱。
　　冷卻
　　a、加熱結(jié)束后，按工藝條件進(jìn)行冷卻；

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